于成伟等人看到下来的是一个不过二十来岁的年轻人,取下眼镜揉了揉眼睛。
似乎不太敢相信。
这是哪家的公子哥?
“这……”
和他们想象的差的也太多了!
要能在光刻机领域有所建树,怎么着都得有个五六十岁了吧?
怎么能是一个二十来岁的年轻人呢?
在众人的诧异中,杨辰走上前问道:“你们好,我叫杨辰,请问你们哪位是负责人?”
于成伟一惊,科学院通知前来考察的特殊人物就叫杨辰。
他连忙站出来,伸手握道:“您好,欢迎领导来我们这里考察,我是负责人于成伟”
不愧是商业巨擘,很快就调整好了自己的心态。
“于董您好。”
“那请问,哪位是叶天明,叶博士啊?”
还处于震惊中的叶天明没想到杨辰一来就开口问他,人还一脸呆滞呢。
“这位就是叶博士。”
于成伟伸手拉了一下叶天明,后者才恍然。
“你……您好。”
他感觉自己有些不会说话了。
“叶博士,您好。”
杨辰伸出手。
“您好。”
“叶博士,我看了您技术资料,说实话,您是真了不起。”
“竟然可以用瑞利判据,将光的衍射角做到那种程度。”
“不断使得加电压u增大大,电子束波长λ就越小,最后极限衍射o角就越小。”
“您这是走的绕开了euv的光源,试图用电子束来进行替代,并且取得了很不错的成效。”
“实在是一个很了不起的工作。”
杨辰赞叹道。
行家一出口,就知有没有!
叶天明听到杨辰的话心中一震。
这正是他研究的方向!
电子束光刻机。
不仅仅可以避开极紫外光的制造问题,还能一定程度的降低高要求的镜片模组问题。
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