“他在方案中提到了一种名为等离子能量微投影系统的思路,这种方法能够降低对高精度光学元件的依赖。
根据他的计算,我们的工业级激光系统经过一定改装后,可以在现有条件下模拟高精度投影效果……”
一开始,赵鸿德和李明岳等人仍然是一副不屑一顾的表情,但随着许云川的讲解逐渐深入,他们的表情开始变得微妙起来。
“等等,”
陈国栋院士打断了许云川的话,皱着眉头说道。
“等离子能量微投影系统?这确实是一个新思路,如果他算得没错的话,这种替代方案理论上是有可能的。”
“再说说他提到的工业改装部分,”
周晓峰院士推了推眼镜,神色变得认真起来。
“你是说,他用现有工业激光器替代高端光刻光源?这……他的分析模型里有这么高的精度吗?”
许云川点头,继续讲解方案中的内容,尤其是林奕对光刻机核心部件的简化设计,以及对工业激光设备的替代应用。
随着讲解的深入,几位院士的表情渐渐从轻视变成了震惊,甚至有人忍不住低声惊叹起来。
“这小子的脑子……怎么这么好使?”
张志辉忍不住说道,“他一个本科生是怎么想到这些的?这些替代思路太巧妙了!”
“是啊,这种思路完全跳出了我们的常规框架,我还以为这只是一个学生的空想,没想到竟然有这么高的逻辑性和可行性。”
李明岳点头,语气中透出几分佩服。
“如果这个方案真能实现,我们在光刻机技术上的进展马上就可以弯道超车了!
这小子绝对是个天才!”
陈国栋也忍不住赞叹道。
“许老师,我承认,刚才是我小瞧了这个学生的能力。
如果这个方案真能付诸实践,那他确实有资格让我们重新认识他。”
最后,连一开始最不看好的赵鸿德都忍不住点头。
“……这一步,按照他的思路,确实可以绕过高端光学设备的瓶颈,直接利用工业激光器进行替代。
虽然精度略有损失,但完全可以通过后期的校准来补足。”
许云川指着屏幕上的设计图,语气肯定地说道。
“最重要的是,这种技术是可以验证的!
我们现有的实验室设备就能完成所有的测试。”
随着他的讲解,几位院士的表情逐渐从最初的怀疑,变成了目瞪口呆。
尤其是当许云川讲到方案的最后一步工业设备的简单改装时,赵鸿德一拍桌子,直接站了起来:“居然还可以这样!
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